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壓力平衡器(RELIEF DAMPER)稱釋壓閥，其作用為調整潔淨室內外氣壓之高低差，維持其需求並達到防止外界之汙染空氣侵入室內，亦可防止室內有害氣體外洩，達到維持負壓之需求所設立的壓力平衡器。
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浴塵傳遞箱(PASS BOX AIR SHOWER)為置於潔淨室隔間牆之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓，更可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入。也因此傳遞箱的進出口應具有不可同時開啟的連鎖控制，以達到防止交叉汙染。
傳遞箱(PASS BOX)為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓，更可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入。也因此傳遞箱的進出口應具有不可同時開啟的連鎖控制，以達到防止交叉汙染。
空氣浴塵室(AIR SHOWER)為作業者或物品進入CLEANROOM 時用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃，同時其具有AIR Lock 氣鎖功能可以有效控制人員進出及作為不同等級潔淨室的緩衝室達到防止交叉汙染。
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